| 製品名称 | UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド |
|---|---|
| 分類 | 吸着ハンド |
| 用途 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材質 |
高純度アルミナ 炭化ケイ素 |
| 特徴 |
耐久性向上 高耐熱性 接着剤不使用 |
| サイズ |
12インチ：外形330×104 mm、厚み3.5 mm 8インチ ：外形158×74 mm、厚み1.9 mm |
この製品の特徴
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
特徴
特徴
-
・高耐熱性
・薄型化
・軽量化
・たわみが少ない
・空洞一体技術で耐久性が向上
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
形状
形状
-
図1は、12インチのUniZac-air® の外観形状です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
-
図2は、8インチのUniZac-air® の外観形状です。2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
ロボットへの取付穴は、ご希望の位置に加工が可能です。
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
事例・実績
事例・実績
-
2024.08.28高耐熱性4～8インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体ロボット・装置アニール工程エピタキシャル工程CVD工程洗浄工程
材質： 高純度SiC
-
2022.11.3012インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
-
2022.11.308インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
-
2022.11.308インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®、長穴加工あり）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
図面ダウンロード
図面ダウンロード
LeviZac 12インチ
（レビザック12インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
LeviZac 8インチ
（レビザック8インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
PeriZac 12インチ
（ペリザック12インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
PeriZac 8インチ
（ペリザック8インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
UniZac-air 12インチ
（ユニザックエア12インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
UniZac-air 8インチ
（ユニザックエア8インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(ロゴ入り)
（ユニザックエア8"）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
厚さ1.9mmのSiCの空洞一体型搬送ハンド
UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(取付穴あり)
（ユニザックエア8"）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
厚さ1.9mmのSiCの空洞一体型搬送ハンド
UniZac-Obon 8インチ
（ユニザックオボン8インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
軽量化・薄型化を実現
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
動画
動画
-
吸着ハンド（UniZac-air®）12インチの搬送動画
12インチ 吸着ハンド（UniZac-air®）のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」に
関するよくある質問
-
位置の変更はできます。センターライン上の表面あるいは裏面に吸引ポート穴を開けることが可能です。貫通穴の対応も可能です。
-
製作は可能です。Y型の形状のUniZac-air® では、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
詳細はお問い合わせください。
-
反転搬送ができます。12インチのUniZac-air® は、3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。8インチのUniZac-air®は、2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
-
できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。
-
SiC空洞一体ハンドUniZac-airがあります。詳細はこちら→
-
あります。アルミナでは、12インチと8インチ用があります。SiCは8インチ用があります。SiCの12インチは現在製作中です。
