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UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド

UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|セラミックスデザインラボ
製品名称 UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド
分類 吸着ハンド
用途 ウエハ搬送用(大気用)
材質 高純度アルミナ
炭化ケイ素
特徴 耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用
サイズ 12インチ:外形330×104 mm、厚み3.5 mm
8インチ :外形158×74 mm、厚み1.9 mm

この製品の特徴

UniZac-air® は、空洞一体技術で耐久性を向上させた当社オリジナルのハンドです。空洞一体仕様のため、貼り合わせの仕様よりも強度が強く、軽量化を実現しました。金属のハンドと比べて、たわみが少ないことが特徴です。また、接着剤を使用していないため、有機系のアウトガス対策に有効です。高温環境下で使用可能なハンドです。アルミナとSiCのご提案が可能です。

「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
特徴

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|セラミックスデザインラボ
    ・高耐熱性
    ・薄型化
    ・軽量化
    ・たわみが少ない
    ・空洞一体技術で耐久性が向上

「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
形状

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|セラミックスデザインラボ
    図1は、12インチのUniZac-air® の外観形状です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
  • UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|セラミックスデザインラボ
    図2は、8インチのUniZac-air® の外観形状です。2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
    ロボットへの取付穴は、ご希望の位置に加工が可能です。

「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
図面ダウンロード

LeviZac 12インチ|セラミックスデザインラボ

LeviZac 12インチ

(レビザック12インチ)

  • 接着剤
    不使用
  • 耐久性向上
  • 吸着式
  • 耐熱性
  • 金属レス
  • 大気用
  • 薄型化
  • 高強度
  • 空洞一体

ウエハ外周3mm以内での保持が可能

LeviZac 8インチ|セラミックスデザインラボ

LeviZac 8インチ

(レビザック8インチ)

  • 接着剤
    不使用
  • 耐久性向上
  • 吸着式
  • 耐熱性
  • 金属レス
  • 大気用
  • 薄型化
  • 高強度
  • 空洞一体

ウエハ外周3mm以内での保持が可能

PeriZac 12インチ|セラミックスデザインラボ

PeriZac 12インチ

(ペリザック12インチ)

  • 接着剤
    不使用
  • 耐久性向上
  • 吸着式
  • 耐熱性
  • 金属レス
  • 大気用
  • 薄型化
  • 高強度
  • 空洞一体

ウエハ外周3mm以内での保持が可能

PeriZac 8インチ|セラミックスデザインラボ

PeriZac 8インチ

(ペリザック8インチ)

  • 接着剤
    不使用
  • 耐久性向上
  • 吸着式
  • 耐熱性
  • 金属レス
  • 大気用
  • 薄型化
  • 高強度
  • 空洞一体

ウエハ外周3mm以内での保持が可能

UniZac-air 12インチ|セラミックスデザインラボ

UniZac-air 12インチ

(ユニザックエア12インチ)

  • 接着剤
    不使用
  • 耐久性向上
  • 吸着式
  • 耐熱性
  • 金属レス
  • 大気用
  • 薄型化
  • 高強度
  • 空洞一体

有機系のアウトガス対策にも有効

UniZac-air 8インチ|セラミックスデザインラボ

UniZac-air 8インチ

(ユニザックエア8インチ)

  • 接着剤
    不使用
  • 耐久性向上
  • 吸着式
  • 耐熱性
  • 金属レス
  • 大気用
  • 薄型化
  • 高強度
  • 空洞一体

有機系のアウトガス対策にも有効

UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(ロゴ入り)|セラミックスデザインラボ

UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(ロゴ入り)

(ユニザックエア8")

  • 接着剤
    不使用
  • 耐久性向上
  • 吸着式
  • 耐熱性
  • 金属レス
  • 大気用
  • 薄型化
  • 高強度
  • 空洞一体

厚さ1.9mmのSiCの空洞一体型搬送ハンド

UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(取付穴あり)|セラミックスデザインラボ

UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(取付穴あり)

(ユニザックエア8")

  • 接着剤
    不使用
  • 耐久性向上
  • 吸着式
  • 耐熱性
  • 金属レス
  • 大気用
  • 薄型化
  • 高強度
  • 空洞一体

厚さ1.9mmのSiCの空洞一体型搬送ハンド

UniZac-Obon 8インチ|セラミックスデザインラボ

UniZac-Obon 8インチ

(ユニザックオボン8インチ)

  • 接着剤
    不使用
  • 耐久性向上
  • 吸着式
  • 耐熱性
  • 金属レス
  • 大気用
  • 薄型化
  • 高強度
  • 空洞一体

軽量化・薄型化を実現

「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
動画

  • 吸着ハンド(UniZac-air®)12インチの搬送動画

    12インチ 吸着ハンド(UniZac-air®)のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。

「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」に
関するよくある質問

  • 位置の変更はできます。センターライン上の表面あるいは裏面に吸引ポート穴を開けることが可能です。貫通穴の対応も可能です。

  • 製作は可能です。Y型の形状のUniZac-air® では、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
    詳細はお問い合わせください。

  • 反転搬送ができます。12インチのUniZac-air® は、3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。8インチのUniZac-air®は、2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。

  • できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。

  • SiC空洞一体ハンドUniZac-airがあります。詳細はこちら→

  • あります。アルミナでは、12インチと8インチ用があります。SiCは8インチ用があります。SiCの12インチは現在製作中です。

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