기기 제조업체를 비롯한 다양한 산업 고객에게
제공해 온 세라믹 파트를 소개합니다.
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2023.10.12反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ（UniZac-Pair）
산업： 반도체,로봇·장치,산업 기계
재질： 고순도 알루미나,다공성 세라믹(포러스 세라믹)
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2023.09.21
センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ
산업： 로봇·장치
재질： 고순도 알루미나,다공성 세라믹(포러스 세라믹)
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2023.09.06
両面吸着多孔質チャック（本体：アルシーマ、多孔質：表面AZP60、裏面AZPS40）
산업： 반도체,로봇·장치,광학 장비
재질： アルシーマL,다공성 세라믹(포러스 세라믹)
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2023.08.10パワー半導体向けSiC製ウエハ
산업： 반도체
재질： 고순도 SiC
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2023.08.08
6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ）
산업： 반도체,산업 기계,영화
재질： ブラックアルミナ,다공성 세라믹(포러스 세라믹)
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2023.03.16はんだ付け用アルシーマ治具
산업： 산업 기계
재질： アルシーマL
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2023.03.16
ヒーター発熱部の断熱セラミックス部品（アルシーマ）
산업： 광학 장비,산업 기계,대학·연구기관,기타
재질： アルシーマL
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2023.03.164～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®）
산업： 반도체,로봇·장치,광학 장비
재질： 고순도 알루미나
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2022.11.30
드라이 에칭용 SiC제 웨이퍼 트레이(자그리 홀 타입)
산업： 반도체
재질： SiC(탄화규소)
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2022.11.30
드라이 에칭용 알루미나제 웨이퍼 트레이(관통 구멍 타입)
산업： 반도체
재질： 고순도 알루미나
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2022.11.30광도파로 연구용 SiC제 웨이퍼 트레이
산업： 반도체
재질： SiC(탄화규소)
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2022.11.30세정 장치용 로봇용 반송 핸드
산업： 로봇·장치
재질： 고순도 알루미나
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