| 상품명 | 드라이 에칭용 알루미나제 웨이퍼 트레이(관통 구멍 타입) |
|---|---|
| 산업 | 반도체 |
| 상품 유형 | 웨이퍼 트레이 |
| 재료 | 고순도 알루미나 |
| 크기 | 외형Φ340 mm, 두께 2.5 mm |
이쪽은, 4 인치의 웨이퍼를 실는 관통 구멍 형상의 알루미나 트레이입니다.
Φ340×2.5t의 형상에 7개의 오리플라 부착 웨이퍼를 올릴 수 있습니다. 웨이퍼의 외주 0.5mm 정도로 웨이퍼를 받을 수 있는 트레이입니다. 당사의 머시닝 센터를 사용하여, 폭 2.4×길이 3.2의 U자 형상의 노치 가공을 실시했습니다. 평면도 0.05로 완성하고 있습니다.
당사에서 알루미나 원료의 조합, 조립, 성형, 생가공, 소성, 2차 가공, 검사까지를 일관되게 실시하고 있습니다.
「세라믹스디자인랩」을 운영하는 아스작 주식회사에서는, 알루미나 원료의 조합, 조립, 성형으로부터, 그린 가공(생가공), 소성, 2차 가공, 검사·세정까지를 일관해 실시하고 있습니다. 본 제품과 같은 웨이퍼 트레이 외에, 웨이퍼 반송 핸드(자사 개발품 포함한다)나 흡착 척, 소성용 세터 등의 세라믹스 제품의 제작 실적이 다수 있습니다.
반도체·전자 부품용 세라믹 제품의 설계·제작이라면 아스작에 맡겨 주십시오.
