| 상품명 | 6인치 웨이퍼 흡착용 다공질 알루미나 척(본체 A5052) |
|---|---|
| 산업 |
반도체 산업 기계 영화 |
| 상품 유형 | 다공성 척 |
| 재료 | 다공성 세라믹(포러스 세라믹) |
| 크기 | 본체 외경: Φ170, 두께 20 mm, 다공질 외경: Φ150, 두께 8 mm |
이쪽은, 웨이퍼나 필터, 지그류의 흡착에 사용하는 다공질 척입니다.
당사의 머시닝 센터를 사용하여 JIS 중급의 치수 정밀도로 가공을 실시했습니다. 다공질 부분의 돌출량은 1mm입니다. 본체의 측면에 흡착 포트(Rc1/8)를 실시했습니다. 다공질과 본체는 에폭시계의 접착제로 접착하고 있습니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사에서는, 다공질 세라믹스 원료의 조합, 조립, 성형으로부터, 그린 가공(생가공), 소성, 2차 가공, 검사·세정까지를 일관되게 실시하고 있습니다 합니다. 본 제품과 같은 흡착 척 외에, 웨이퍼 반송용 핸드나 웨이퍼 트레이, 소성 지그 등 세라믹스 제품의 제작 실적이 다수 있습니다.
반도체·전자 부품용 세라믹 제품의 설계·제작이라면 아스작에 맡겨 주십시오.
