| 상품명 | 정전기 확산 코팅 웨이퍼 반송 핸드 |
|---|---|
| 산업 | 반도체 |
| 상품 유형 | 웨이퍼 반송 핸드(로봇 흡착 핸드) |
| 재료 |
정전기 확산 알루미나 고순도 알루미나 |
| 크기 | 외형 223.01×69.85 mm, 장착부의 두께 4.5 mm, 선단부의 두께 2 mm |
이쪽은 검사 장치용 웨이퍼 반송 핸드입니다. 정전기·스파크에 의한 웨이퍼의 상처·휨을 최대한 방지하기 위해, 재질은 알루미나로, 표면에 정전기 확산성이 높은 정전기 확산 코트를 채용하고 있습니다. 당사의 머시닝 센터를 사용하여, 웨이퍼 유지부 0.5 mm에 대해, 두께 4.5, M3, 유효 깊이 6.1의 자구리 구멍을 실시했습니다. 또, 흡착 보트는 Φ3 깊이 3.3으로, 면조도 Ra0.41로 완성하고 있습니다. 「세라믹스디자인랩」을 운영하는 아스작 주식회사에서는, 알루미나 원료의 조합, 조립, 성형으로부터, 그린 가공(생가공), 소성, 2차 가공, 검사·세정까지를 일관해 실시하고 있습니다. 본 제품과 같은 웨이퍼 반송용 핸드 외에, 웨이퍼 트레이나 흡착 척, 소성용 세터 등의 세라믹스 제품의 제작 실적이 다수 있습니다.또한 블랙 알루미나 정전기 확산 알루미나를 비롯하여 4N을 포함한 고순도 알루미나, 고순도 SiC, 다공질 세라믹스, 도전성 세라믹스, 내열성 세라믹스 등 다양한 세라믹 재료를 취급하고 있습니다. 제품 용도・사용 환경・요구되는 기능성에 따라 최적인 세라믹 재료를 제안하겠습니다. 반도체·전자 부품용 세라믹 제품의 설계·제작이라면 아스작에 맡겨 주십시오.
