| 상품명 | 다공질 SiC 척(본체 알루미나) |
|---|---|
| 산업 |
산업 기계 영화 대학·연구기관 |
| 상품 유형 | 다공성 척 |
| 재료 |
고순도 알루미나 다공성 세라믹(포러스 세라믹) |
| 크기 | 본체 외형: 120×80 mm, 두께 20 mm, 다공질 외형: 85×55 mm, 두께 8 mm |
이쪽은, 웨이퍼나 필터, 지그류의 흡착에 사용하는 다공질 척입니다. 당사의 머시닝 센터를 사용하여 JIS 중급의 치수 정밀도로 가공을 실시했습니다. 본체와 다공질 부분은, 면일로의 가공이 됩니다. 본체의 네 모퉁이에, 3 키리, 자구리 직경 Φ5, 깊이 7 mm의 자구리 구멍을 마련했습니다. 본체 뒷면에는 흡착 포트 M6의 부시가 가공되어 있습니다. 또한, 다공성 부분과 본체는 에폭시계의 접착제로 접착하고 있습니다. 「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사에서는, 다공질 세라믹스 원료의 조합, 조립, 성형으로부터, 그린 가공(생가공), 소성, 2차 가공, 검사·세정까지를 일관되게 실시하고 있습니다 합니다. 본 제품과 같은 흡착 척 외에, 웨이퍼 반송용 핸드나 웨이퍼 트레이, 소성 지그 등 세라믹스 제품의 제작 실적이 다수 있습니다. 반도체·전자 부품용 세라믹 제품의 설계·제작이라면 아스작에 맡겨 주십시오.
