LeviZac® (レビザック)　浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

製品名称	LeviZac® (レビザック)　浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
分類	浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
用途	ウエハ搬送用(大気用)
材質	高純度アルミナ
特徴	反りウエハの搬送が可能 薄いウエハの搬送が可能 4箇所の外周ガイドでウエハの保持が可能 反転動作が可能
サイズ	12インチ：外形350×220 mm、厚み2.5 mm 8インチ：外形272×100 mm、厚み2.5 mm

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LeviZac 12インチ

（レビザック12インチ）

• 反りウエハ
• 薄いウエハ
• 浮上式
• ベルヌーイ式
• 耐熱性
• 大気用
• 噴き出し穴
• ガイド
• 空洞一体

ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

LeviZac 8インチ

（レビザック8インチ）

• 反りウエハ
• 薄いウエハ
• 浮上式
• ベルヌーイ式
• 耐熱性
• 大気用
• 噴き出し穴
• ガイド
• 空洞一体

ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

図面ダウンロード

「LeviZac® (レビザック)　浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)」の
動画

• ベルヌーイハンド（LeviZac）8インチの水中でのウエハ保持動画

  8インチベルヌーイハンド（LeviZac）の水中でのウエハ保持動画です。4箇所の噴き出し穴から水を噴き出すことでウエハを保持しています。ウエハは、外周3 mm程度の4箇所のガイドで保持しています。水中での使用が可能です。

• ベルヌーイハンド（LeviZac）12インチのウエハ搬送動画

  12インチ ベルヌーイハンド（LeviZac）のウエハ搬送動画です。 4箇所の噴き出し穴からエアーを噴き出すことでウエハを保持しています。 ウエハは、外周3 mm程度の4箇所のガイドで保持しています。 ベルヌーイハンド（LeviZac）を回転させてもウエハの保持ができます。 上からウエハを吸い付けながら搬送することができます。

• LeviZac® (レビザック)　は、高温での使用が可能ですか。

  ガイドの耐熱温度が100℃のため、それ以上の温度での使用は難しいです。
  高温環境下での使用の場合は、ガイドの素材をアルミナにした形状でご提案させていただきます。
  詳細は、お問い合わせください。詳細はこちら→

• 12インチ、8インチ以外のウエハサイズに対応したLeviZac®は、製作可能ですか。

  製作は可能です。Y型の形状のLeviZacでは、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
  4インチ用のLeviZacは、5～8インチのウエハを保持することができます。
  I型形状のLeviZacもございますので、お気軽にお問い合わせください。詳細はこちら→

• LeviZac®は、ワークの上面を保持して，水平姿勢で搬送できますか。

  水平姿勢で搬送できます。LeviZac®は、4箇所のガイドでワークを保持します。
  ワークの上面を上から引き付け、保持し、搬送ができます。

• LeviZac®は、水や液体を噴き出して、ワークを保持することができますか。

  保持できます。LeviZac®は、空路の中に水や液体を流し、 噴き出し穴から噴出させることで、ウエハを保持することができます。
  詳しくは、こちらの動画をご覧ください。詳細はこちら→