パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: ウエハの傷防止,吸着痕抑制
薄ウエハの保持・位置ズレ対策が可能なベルヌーイハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 反りウエハ対策,位置ズレ防止,機能性向上
コーティング変更による静電気拡散ハンドの不良率低減
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: コンタミ対策,静電気対策,スパークリング防止,不良率低減
ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類: ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果: 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上,耐摩耗性
1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上
可搬式ウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 機能性向上,可搬性
反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 反りウエハ対策,位置ズレ防止,歩留まり向上,機能性向上
金属から導電性セラミックスへのウエハ搬送ハンドの材質変更による接触ダメージの低減
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 接触ダメージ抑制,摩耗防止,コンタミ対策
高温下でも静電気拡散効果に優れたウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 静電気対策,機能性向上,表面抵抗値制御
ウエハ搬送ハンドへのセンサー組付けのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 生産性向上(スループット向上),機能性向上
PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果: ウエハの傷防止,位置ズレ防止,接触ダメージ抑制,歩留まり向上
反り・薄ウエハ搬送用ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: ウエハの傷防止,反りウエハ対策,歩留まり向上,パーティクル対策,吸着痕抑制
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