薄ウエハの保持・位置ズレ対策が可能なベルヌーイハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 反りウエハ対策,位置ズレ防止,機能性向上
ワークへの影響が小さく、通気性が良好な多孔質セッターのご提案
製品種類: 焼成用セッター
提案効果: 接触ダメージ抑制,不良率低減,歩留まり向上,機能性向上
ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類: ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果: 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上,耐摩耗性
1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上
可搬式ウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 機能性向上,可搬性
反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 反りウエハ対策,位置ズレ防止,歩留まり向上,機能性向上
高温下でも静電気拡散効果に優れたウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 静電気対策,機能性向上,表面抵抗値制御
ウエハ搬送ハンドへのセンサー組付けのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 生産性向上(スループット向上),機能性向上
両面吸着多孔質チャックのご提案
製品種類: 多孔質チャック
提案効果: 生産性向上(スループット向上),工数削減,コストダウン,機能性向上
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