VA・VE提案事例

高温下でも静電気拡散効果に優れたウエハ搬送ハンドのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 静電気対策,機能性向上,表面抵抗値制御

ウエハ搬送ハンドへのセンサー組付けのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 生産性向上（スループット向上）,機能性向上

ブラックアルミナピンへの材料変更

製品種類： その他

提案効果： プラズマ耐性向上,耐摩耗性向上,耐熱性向上

PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD

提案効果： ウエハの傷防止,位置ズレ防止,接触ダメージ抑制,歩留まり向上

反り・薄ウエハ搬送用ハンドのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： ウエハの傷防止,反りウエハ対策,歩留まり向上,パーティクル対策,吸着痕抑制

両面吸着多孔質チャックのご提案

製品種類： 多孔質チャック

提案効果： 生産性向上（スループット向上）,工数削減,コストダウン,機能性向上

吸着ハンドの空洞一体化のご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： アウトガス抑制,耐熱性向上,工数削減,長寿命化,コストダウン

ウエハ搬送ハンドにおける静電気対策・アウトガス対策

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 静電気対策,アウトガス抑制,耐熱性向上,表面抵抗値制御

反りウェハを吸着搬送できるPAD付きハンドのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD

提案効果： 反りウエハ対策,生産性向上（スループット向上）

マスクのセラミック化提案

製品種類： その他

提案効果： 歪み抑制,不良率低減,コストダウン

摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 耐摩耗性向上,生産性向上（スループット向上）,工数削減,コストダウン

静電気対策のPAD提案

製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD

提案効果： ウエハの傷防止,反りウエハ対策,静電気対策,不良率低減