VA・VE提案事例

大型偏光フィルムの吸着が可能な500角の大型多孔質チャックのご提案

製品種類： 多孔質チャック

提案効果： 歪み抑制,生産性向上（スループット向上）,吸着痕抑制,ワークの傷防止

パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： ウエハの傷防止,吸着痕抑制

薄ウエハの保持・位置ズレ対策が可能なベルヌーイハンドのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 反りウエハ対策,位置ズレ防止,機能性向上

コーティング変更による静電気拡散ハンドの不良率低減

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： コンタミ対策,静電気対策,スパークリング防止,不良率低減

ワークへの影響が小さく、通気性が良好な多孔質セッターのご提案

製品種類： 焼成用セッター

提案効果： 接触ダメージ抑制,不良率低減,歩留まり向上,機能性向上

アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減

製品種類： アルミナカバー

提案効果： 工数削減,コストダウン,生産性向上

ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン

製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD

提案効果： 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上,耐摩耗性

1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上

可搬式ウエハ搬送ハンドのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 機能性向上,可搬性

メタルコンタミ対策ができる特殊処理製品のご提案

製品種類： その他

提案効果： メタルコンタミ対策,パーティクル対策,耐薬品性向上,生産性向上（スループット向上）,工数削減,長寿命化

反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 反りウエハ対策,位置ズレ防止,歩留まり向上,機能性向上

金属から導電性セラミックスへのウエハ搬送ハンドの材質変更による接触ダメージの低減

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 接触ダメージ抑制,摩耗防止,コンタミ対策