| 製品名称 | PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド |
|---|---|
| 分類： | 外周3mm吸着式標準ハンド |
| 用途 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材質： | 高純度アルミナ |
| 特徴 |
ウエハ外周3mm以内での吸着が可能 ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用 薄型化が可能 |
| サイズ |
12インチ：外形350×220 mm、厚み2.5 mm 8インチ：外形272×100 mm、厚み2.5 mm |
この製品の特徴
「PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド」の特徴
-
・薄型化が可能
・金属ハンドに比べてたわみにくい
・外周3mm部分の4箇所のガイドでウエハを吸着
「PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド」の形状
-
・外周3mm以内で吸着が可能
・接触により発生するウエハベベル部や裏面からのパーティクル発生を抑制
・ガイドは、ウエハにダメージを与えにくい材質を採用
・空洞一体技術で薄型化が可能
・取り付け穴の加工、根本の長さ、幅の変更に対応可能
・センサー取り付けなどのオプションに対応
「PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド」の事例・実績
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LeviZac 12インチ
（レビザック12インチ）
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パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
LeviZac 8インチ
（レビザック8インチ）
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パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
PeriZac 12インチ
（ペリザック12インチ）
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パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
PeriZac 8インチ
（ペリザック8インチ）
-
パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
UniZac-air 12インチ
（ユニザックエア12インチ）
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パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
UniZac-air 8インチ
（ユニザックエア8インチ）
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パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
UniZac-Obon 12インチ
（ユニザックオボン12インチ）
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パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
軽量化・薄型化を実現
UniZac-Obon 8インチ
（ユニザックオボン8インチ）
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パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
軽量化・薄型化を実現
「PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド」に関するよくある質問
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ウエハの側面には接触しません。ウエハの底面を4箇所のガイドで吸着します。
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ガイドの耐熱温度が200℃のため、それ以上の温度での使用は難しいです。
高温環境下で使用される場合、ガイドに替わる突起部分は、アルミナ一体の形状でご提案させていただきます。
詳細は、お問い合わせください。
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反転動作ができます。4箇所のガイドでワークを吸着するので、反転してもワークを保持しています。
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製作は可能です。4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。詳細はお問い合わせください。
ウエハの接触位置を工夫し外周から3 mm以内で吸着できるため、従来のガイドによる搬送に比べ、ウエハベベル部や裏面からのパーティクル発生を削減します。
ガイドには、ワークに傷を与えにくい材質を使用しています。
空洞一体技術により、薄型化が可能です。たわみにくく、耐久性に優れています。