| 產品名稱 | PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド |
|---|---|
| 分類 | 外周3mm吸着式標準ハンド |
| 用法 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材料 | 高純度アルミナ |
| 特徵 |
ウエハ外周3mm以内での吸着が可能 ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用 薄型化が可能 |
| 尺寸 |
12インチ：外形350×220 mm、厚み2.5 mm 8インチ：外形272×100 mm、厚み2.5 mm |
本產品的特點
"PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド"的特點
-
・外周3mm部分の4箇所のガイドでウエハを吸着
・接触により発生するウエハベベル部や裏面からのパーティクル発生を抑制
・ガイドは、ウエハにダメージを与えにくい材質を採用
・取り付け穴の加工、根本の長さ、幅の変更に対応可能
・センサー取り付けなどのオプションに対応
"PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド"的形狀
-
ガイドは4箇所あり、ウエハ外周3mm以内で吸着が可能です。
ロボットへの取付穴は、ご希望の位置に加工が可能です。
"PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド"實例及成果
"PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド"下載圖
LeviZac 8寸
（利維薩克 8寸）
- 粒子抑制
- 提高耐久性
- 吸附式
- 偏轉
- 不含金屬
- 對於大氣
- 稀釋劑
- 指導
- 一體式腔體
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
LeviZac 12寸
（利維薩克 12 寸）
- 粒子抑制
- 提高耐久性
- 吸附式
- 偏轉
- 不含金屬
- 對於大氣
- 稀釋劑
- 指導
- 一體式腔體
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
PeriZac 8寸
（佩里扎克8寸）
- 粒子抑制
- 提高耐久性
- 吸附式
- 偏轉
- 不含金屬
- 對於大氣
- 稀釋劑
- 指導
- 一體式腔體
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
PeriZac 12寸
（佩里扎克 12寸）
- 粒子抑制
- 提高耐久性
- 吸附式
- 偏轉
- 不含金屬
- 對於大氣
- 稀釋劑
- 指導
- 一體式腔體
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
UniZac-air 8寸
（尤尼扎克空氣 8寸）
- 粒子抑制
- 提高耐久性
- 吸附式
- 偏轉
- 不含金屬
- 對於大氣
- 稀釋劑
- 指導
- 一體式腔體
對有機除氣也有效
UniZac-air 12寸
（尤尼扎克空氣 12 寸）
- 粒子抑制
- 提高耐久性
- 吸附式
- 偏轉
- 不含金屬
- 對於大氣
- 稀釋劑
- 指導
- 一體式腔體
對有機除氣也有效
UniZac-Obon 8寸
（UniZac-托盤 8寸）
- 粒子抑制
- 提高耐久性
- 吸附式
- 偏轉
- 不含金屬
- 對於大氣
- 稀釋劑
- 指導
- 一體式腔體
實現減重瘦身
UniZac-Obon 12寸
（UniZac-托盤 12寸）
- 粒子抑制
- 提高耐久性
- 吸附式
- 偏轉
- 不含金屬
- 對於大氣
- 稀釋劑
- 指導
- 一體式腔體
實現減重瘦身
"PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド"常見問題解答
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ウエハの側面には接触しません。ウエハの底面を4箇所のガイドで吸着します。
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ガイドの耐熱温度が200℃のため、それ以上の温度での使用は難しいです。
高温環境下で使用される場合、ガイドに替わる突起部分は、アルミナ一体の形状でご提案させていただきます。
詳細は、お問い合わせください。
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反転動作ができます。4箇所のガイドでワークを吸着するので、反転してもワークを保持しています。
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製作は可能です。4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。詳細はお問い合わせください。
ウエハの接触位置を工夫し外周から3 mm以内で吸着できるため、従来のガイドによる搬送に比べ、ウエハベベル部や裏面からのパーティクル発生を削減します。
ガイドには、ワークに傷を与えにくい材質を使用しています。
空洞一体技術により、薄型化が可能です。たわみにくく、耐久性に優れています。