| 상품명 | PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド |
|---|---|
| 분류 | 外周3mm吸着式標準ハンド |
| 용도 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 재료 | 高純度アルミナ |
| 특징 |
ウエハ外周3mm以内での吸着が可能 ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用 薄型化が可能 |
| 크기 |
12インチ：外形350×220 mm、厚み2.5 mm 8インチ：外形272×100 mm、厚み2.5 mm |
이 제품의 특징
"PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド"의 특징
-
・外周3mm部分の4箇所のガイドでウエハを吸着
・接触により発生するウエハベベル部や裏面からのパーティクル発生を抑制
・ガイドは、ウエハにダメージを与えにくい材質を採用
・取り付け穴の加工、根本の長さ、幅の変更に対応可能
・センサー取り付けなどのオプションに対応
"PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド"의 형상
-
ガイドは4箇所あり、ウエハ外周3mm以内で吸着が可能です。
ロボットへの取付穴は、ご希望の位置に加工が可能です。
"PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド"의 사례·실적
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LeviZac 8인치
（레비작 8인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
LeviZac 12인치
（레비작 12인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
PeriZac 8인치
（페리작 8인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
PeriZac 12인치
（페리작 12인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
UniZac-air 8인치
（유니잭 에어 8인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
유기계의 아웃 가스 대책에도 유효
UniZac-air 12인치
（유니잭 에어 12인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
유기계의 아웃 가스 대책에도 유효
UniZac-Obon 8인치
（유니작 오본 8인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
경량화·박형화를 실현
UniZac-Obon 12인치
（유니작 오본 12인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
경량화·박형화를 실현
"PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド"에 대한 자주 묻는 질문
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ウエハの側面には接触しません。ウエハの底面を4箇所のガイドで吸着します。
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ガイドの耐熱温度が200℃のため、それ以上の温度での使用は難しいです。
高温環境下で使用される場合、ガイドに替わる突起部分は、アルミナ一体の形状でご提案させていただきます。
詳細は、お問い合わせください。
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反転動作ができます。4箇所のガイドでワークを吸着するので、反転してもワークを保持しています。
-
製作は可能です。4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。詳細はお問い合わせください。
ウエハの接触位置を工夫し外周から3 mm以内で吸着できるため、従来のガイドによる搬送に比べ、ウエハベベル部や裏面からのパーティクル発生を削減します。
ガイドには、ワークに傷を与えにくい材質を使用しています。
空洞一体技術により、薄型化が可能です。たわみにくく、耐久性に優れています。