| 상품명 | 500角吸着用 大型多孔質チャック（多孔質AZP60、本体アルミ） |
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| 산업 |
반도체 광학 장비 화학·소재 영화 기타 |
| 상품 유형 | 다공성 척 |
| 재료 | 다공성 세라믹(포러스 세라믹) |
| 크기 | 本体外形：580×580、厚み20 mm、 多孔質外形：500×500、厚み8 mm |
こちらは、ウエハやフィルム、PLP基板の吸着に使用する大型多孔質チャックです。当社のマシニングセンターを使用して、JIS中級の寸法精度で加工を行いました。多孔質部分の飛び出し量は1mmになります。本体の側面に、5箇所の吸着ポート（Rc1/8）を施しました。多孔質と本体は、エポキシ系の接着剤で接着しています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、多孔質セラミックス原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような吸着チャックのほか、ウエハ搬送用ハンドやウエハートレイ、焼成治具などセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
