상품명 | 検査用 セラミックス製 精密定盤(650角) |
---|---|
산업 | 検査工程 |
상품 유형 | 検査治具 |
재료 | 고순도 알루미나 |
크기 | 650×650×20 mm |
정밀도 | 平面平行度 2 µm |
표면 거칠기 | Ra0.2~0.3 |
こちらは、検査用のセラミックス定盤です。材質は、高純度アルミナを採用しております。サイズ650×650×20 mmの製品について、表面粗さRa0.2~0.3、平面平行度 2 µmの精度で加工を行いました。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなセラミックス定盤のほか、搬送ハンド、ウエハートレイ、吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 検査工程向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。