| 상품명 | 4～6インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート |
|---|---|
| 산업 |
반도체 로봇·장치 |
| 상품 유형 |
웨이퍼 반송 핸드(로봇 흡착 핸드) 베르누이 핸드 |
| 재료 | 고순도 알루미나 |
| 크기 | 外形228×70 mm、厚み2 mm |
こちらは、4～6インチウエハ用の薄型ベルヌーイハンドです。 従来は、2.5 mmのY型ベルヌーイハンドでしたが、こちらの製品は、総厚2 mmのY型形状を実現しました。さらに、空路内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜をコーティングしているため、パーティクルの発生を抑制します。当社のマシニングセンターを使用して、ハンドの厚み1.5ｍｍ、ガイドを含めて総厚2 mmで加工しています。3個1セットの噴き出し穴は、斜め穴加工を施し、空路に沿って4カ所に配置しています。吸引ポートは1カ所で、空洞部に通じる貫通穴を設けました。4箇所のガイドでウエハを保持する形状です。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
