| 상품명 | 12인치 웨이퍼 흡착용 베르누이 핸드(LeviZac®, 분출구멍 4곳) |
|---|---|
| 산업 | 반도체 |
| 상품 유형 |
웨이퍼 반송 핸드(로봇 흡착 핸드) 베르누이 핸드 |
| 재료 | 고순도 알루미나 |
| 크기 | 외형 350×220 mm, 두께 2.5 mm |
이곳은 12 인치 용 베르누이 핸드입니다.
본 제품에서는 분출구멍을 별도 부품으로 하고 있습니다. 당사의 머시닝 센터를 구사해, 4개소의 Φ17×0.5mm의 분출판에, 각각 3개의 분출 구멍을 가공했습니다. Φ0.5, 30°, 5.1 피치의 경사 구멍으로 완성하고 있습니다. 분사 구멍의 부품은 본체에 유리 접착제로 접착합니다. 또한, 흡입 포트는 2곳에서 Φ5의 관통 구멍으로 되어 있습니다.
「세라믹스디자인랩」을 운영하는 아스작 주식회사에서는, 알루미나 원료의 조합, 조립, 성형으로부터, 그린 가공(생가공), 소성, 2차 가공, 검사·세정까지를 일관해 실시하고 있습니다. 본 제품과 같은 웨이퍼 반송용 핸드 외에, 웨이퍼 트레이나 흡착 척, 소성용 세터 등의 세라믹스 제품의 제작 실적이 다수 있습니다.
반도체·전자 부품용 세라믹 제품의 설계·제작이라면 아스작에 맡겨 주십시오.
