デバイスメーカーをはじめとする様々な業界のお客様に
ご提供してきたセラミックパーツをご紹介いたします。
反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)
業界: 半導体,ロボット・装置,産業機械
材質: 高純度アルミナ,多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ
業界: ロボット・装置
材質: 高純度アルミナ,多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
両面吸着多孔質チャック(本体:アルシーマ、多孔質:表面AZP60、裏面AZPS40)
業界: 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質: アルシーマL,多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
パワー半導体向けSiC製ウエハ
業界: 半導体
材質: 高純度SiC
6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック(多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ)
業界: 半導体,産業機械,フィルム
材質: ブラックアルミナ,多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
はんだ付け用アルシーマ治具
業界: 産業機械
材質: アルシーマL
ヒーター発熱部の断熱セラミックス部品(アルシーマ)
業界: 光学機器,産業機械,大学・研究機関,その他
材質: アルシーマL
4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®)
業界: 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質: 高純度アルミナ
ドライエッチング用 SiC製 ウエハートレイ(ザグリ穴タイプ)
業界: 半導体
材質: SiC(炭化ケイ素)
ドライエッチング用 アルミナ製 ウエハートレイ(貫通穴タイプ)
業界: 半導体
材質: 高純度アルミナ
光導波路研究用 SiC製 ウエハートレイ
業界: 半導体
材質: SiC(炭化ケイ素)
洗浄装置向け ロボット用搬送ハンド
業界: ロボット・装置
材質: 高純度アルミナ
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