デバイスメーカーをはじめとする様々な業界のお客様に
ご提供してきたセラミックパーツをご紹介いたします。
グラインダー装置用セラミックガイドベース
業界: バックグラインド工程
材質: 高純度アルミナ
ボンディング装置用セラミックステージ
業界: ボンディング工程
材質: 高純度アルミナ
UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)
業界: 半導体,ロボット・装置
材質: 高純度アルミナ
ボンディング装置用 4インチ用ピンチャック
業界: 半導体,ボンディング工程
材質: SiC(炭化ケイ素)
4~8インチウエハ吸着用 薄型1.2 mmロボット搬送ハンド(UniZac-air®)
業界: 半導体,ロボット・装置
材質: 高純度アルミナ
ボンディング装置用 Φ300セラミックスプレート
業界: ボンディング工程
材質: 高純度アルミナ
検査用 セラミックス製 精密定盤(400角)
業界: 検査工程
材質: 高純度アルミナ
検査用 セラミックス製 精密定盤(650角)
業界: 検査工程
材質: 高純度アルミナ
精密XYステージ用 セラミックス長尺部品
業界: ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程
材質: 高純度アルミナ
4~6インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド(LeviZac®)静電気拡散アルミナコート
業界: 半導体,ロボット・装置
材質: 高純度アルミナ
4~5インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド(LeviZac®)静電気拡散アルミナコート
業界: 半導体,ロボット・装置
材質: 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様
業界: 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質: 高純度アルミナ
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