製品名称 | 多孔質セラミックスAZPV60 |
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分類 | 多孔質セラミックス |
用途 |
セッター フィルター 吸着 |
材質 | 多孔質セラミックス |
特徴 |
通気率向上 ワーク変形の防止 高い応答性 |
サイズ | 30×30×t4(一例) |
この製品の特徴
「多孔質セラミックスAZPV60」の
特徴
特徴
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・通気率が向上:AZPW40の2倍、AZP60の35倍の通気率を実現
・小さい気孔率を維持:AZP60と同程度の気孔率を実現
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AZPV60は気孔径が小さいため、ワークの変形を防止できます。
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AZPV60は、ワークを吸引後、脱離するときの戻り時間が短いため、応答性に優れています。
「多孔質セラミックスAZPV60」の
形状
形状
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標準サイズは、30×30×t4 mmです。その他のサイズについては、別途お問い合わせください。
「多孔質セラミックスAZPV60」の
事例・実績
事例・実績
「多孔質セラミックスAZPV60」に
関するよくある質問
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最大サイズは、100×100×t7 mmになります。最小サイズは、厚み1mm程度となります。 詳細はお問い合わせください。
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搬送ハンドでは、多孔質埋め込みハンドに実績がございます。反りウエハが搬送できます。 多孔質チャックでは、反りウエハを吸着する用途でご使用頂いている実績がございます。 フィルターでは、ガスのフィルターとしてご使用頂いている実績がございます。
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利用できます。通気性が高く、脱脂性がよい素材です。