パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: ウエハの傷防止,吸着痕抑制
PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果: ウエハの傷防止,位置ズレ防止,接触ダメージ抑制,歩留まり向上
反り・薄ウエハ搬送用ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: ウエハの傷防止,反りウエハ対策,歩留まり向上,パーティクル対策,吸着痕抑制
静電気対策のPAD提案
製品種類: ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果: ウエハの傷防止,反りウエハ対策,静電気対策,不良率低減
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