アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減
製品種類: アルミナカバー
提案効果: 工数削減,コストダウン,生産性向上
ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類: ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果: 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上,耐摩耗性
1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上
ウエハ搬送ハンドへのセンサー組付けのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 生産性向上(スループット向上),機能性向上
両面吸着多孔質チャックのご提案
製品種類: 多孔質チャック
提案効果: 生産性向上(スループット向上),工数削減,コストダウン,機能性向上
摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 耐摩耗性向上,生産性向上(スループット向上),工数削減,コストダウン
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