搬送ハンド・多孔質チャックなどのファインセラミックス製品なら
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ウエハ搬送ハンドにおける静電気対策・アウトガス対策
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 静電気対策,アウトガス抑制,耐熱性向上,表面抵抗値制御
静電気対策のPAD提案
製品種類: ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果: ウエハの傷防止,反りウエハ対策,静電気対策,不良率低減
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