特注製作事例

500角吸着用 大型多孔質チャック（多孔質AZP60、本体アルミ）

業界： 半導体,光学機器,化学・素材,フィルム,その他

材質： 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）

両面吸着多孔質チャック（本体：アルシーマ、多孔質：表面AZP60、裏面AZPS40）

業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器

材質： アルシーマL,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）

6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ）

業界： 半導体,産業機械,フィルム

材質： ブラックアルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）

6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（本体A5052）

業界： 半導体,産業機械,フィルム

材質： 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）

多孔質SiCチャック（本体アルミナ）

業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関

材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）