VA・VE제안 사례

パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,흡착흔 억제

Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상

코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 오염 방지,정전기 대책,스파클링 방지,불량률 감소

웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상,내마모성

1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상

휴대용 웨이퍼 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 기능성 향상,휴대성

휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상,수율 향상

금속으로부터 도전성 세라믹으로의 웨이퍼 반송 핸드의 재질 변경에 의한 접촉 데미지의 저감

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 접촉 피해 억제,마모 방지,오염 방지

고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 기능성 향상,정전기 대책,표면 저항값 제어

웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상),기능성 향상

PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,위치 어긋남 방지,접촉 피해 억제,수율 향상

휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,흡착흔 억제,수율 향상,파티클 대책