VA・VE제안 사례

알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소

제품 종류： 알루미나 커버

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,생산성 향상

웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상,내마모성

1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상

금속 오염 방지가 가능한 특수 처리 제품 제안

제품 종류： 기타

제안 효과： 내약품성 향상,생산성 향상(처리량 향상),공수 절감,긴 수명화,금속 오염 방지,파티클 대책

양면 흡착 다공질 척의 제안

제품 종류： 다공성 척

제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상),공수 절감,비용 절감,기능성 향상

흡착 핸드의 공동 일체화 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 내열성 향상,공수 절감,긴 수명화,비용 절감,아웃 가스 억제

마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 내마모성 향상,생산성 향상(처리량 향상),공수 절감,비용 절감