VA・VE제안 사례

고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 기능성 향상,정전기 대책,표면 저항값 제어

웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상),기능성 향상

블랙 알루미나 핀으로 재료 변경

제품 종류： 기타

제안 효과： 내마모성 향상,내열성 향상,플라즈마 내성 향상

PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,위치 어긋남 방지,접촉 피해 억제,수율 향상

휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,흡착흔 억제,수율 향상,파티클 대책

양면 흡착 다공질 척의 제안

제품 종류： 다공성 척

제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상),공수 절감,비용 절감,기능성 향상

흡착 핸드의 공동 일체화 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 내열성 향상,공수 절감,긴 수명화,비용 절감,아웃 가스 억제

웨이퍼 반송 핸드에 있어서의 정전기 대책·아웃 가스 대책

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 내열성 향상,정전기 대책,표면 저항값 제어,아웃 가스 억제

휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,생산성 향상(처리량 향상)

마스크의 세라믹화 제안

제품 종류： 기타

제안 효과： 왜곡 억제,비용 절감,불량률 감소

마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 내마모성 향상,생산성 향상(처리량 향상),공수 절감,비용 절감

정전기 대책 PAD 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,정전기 대책,불량률 감소