상품명 | UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用) |
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산업 |
반도체 로봇·장치 ボンディング工程 検査工程 リソグラフィ工程 バックグラインド工程 |
상품 유형 | 웨이퍼 반송 핸드(로봇 흡착 핸드) |
재료 | 고순도 알루미나 |
크기 | 12インチ用ハンド外形330×112 mm、 厚み3.5 mm |
こちらは、12インチ用のセンサー溝付きタイプの搬送ハンドです。当社の空洞一体型技術により、センサー溝が内部に設けられた空洞一体型搬送ハンドを実現しました。表面は、ウエハ吸着面で、裏面からセンサーを通す仕様になります。空洞部に通じるザグリの吸着穴は、3カ所で、Φ4深さ1.95 mmになります(図1参照)。吸引ポートは、Φ5の貫通穴です(図1参照)。ウエハ保持部の面粗度は、Ra0.8に仕上げました(図1参照)。センサーを通す出口は、幅3.4長さ15、深さ2.15の空洞部に通じる穴が施されています(図2参照)。センサーを通す先端側は、幅6.45,長さ23.5、深さ2.15の空洞部に通じる穴が施されています(図2参照)。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。