| 상품명 | 8인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(UniZac-air®) |
|---|---|
| 산업 | 반도체 |
| 상품 유형 | 웨이퍼 반송 핸드(로봇 흡착 핸드) |
| 재료 | 고순도 알루미나 |
| 크기 | 8인치용 핸드 외형 158×74 mm, 두께 1.9 mm |
이쪽은, 8 인치용의 흡착 타입의 반송 핸드입니다.
당사의 머시닝 센터를 사용하여 웨이퍼 유지부의 표면 거칠기를 Ra0.8로 마무리했습니다. 흡착용의 긴 구멍은 공동부에 통하는 자구리 구멍으로, 폭 13 깊이 1.2가 됩니다. 또, 흡인 포트에 대해서는, Φ5의 공동부에 통하는 자구리 구멍을 1개소 실시했습니다.
「세라믹스디자인랩」을 운영하는 아스작 주식회사에서는, 알루미나 원료의 조합, 조립, 성형으로부터, 그린 가공(생가공), 소성, 2차 가공, 검사·세정까지를 일관해 실시하고 있습니다. 본 제품과 같은 웨이퍼 반송용 핸드 외에, 웨이퍼 트레이나 흡착 척, 소성용 세터 등의 세라믹스 제품의 제작 실적이 다수 있습니다.
반도체·전자 부품용 세라믹 제품의 설계·제작이라면 아스작에 맡겨 주십시오.
