| 상품명 | 8인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(PeriZac®) |
|---|---|
| 산업 |
반도체 광학 장비 |
| 상품 유형 | 웨이퍼 반송 핸드(로봇 흡착 핸드) |
| 재료 | 고순도 알루미나 |
| 크기 | 8인치용 핸드 외형 227×100 mm, 두께 2.23 mm |
이쪽은, 8 인치의 웨이퍼를 흡착시키는 핸드입니다. 당사의 머시닝 센터를 사용하여, 웨이퍼를 흡착하기 위한 4개소의 흡착 구멍(폭 1mm)을 가공했습니다. 4개소의 흡착 구멍의 형상에 맞춘 가이드(테프론 테이프)의 가공을 실시해, 본체에 붙여 붙이고 있습니다. 흡입 포트는 1곳에서 구멍 직경 Φ6, 단면 피치 20mm입니다. 또, 설치 구멍은 4×Φ5의 관통 구멍으로 되어 있습니다. 「세라믹스디자인랩」을 운영하는 아스작 주식회사에서는, 알루미나 원료의 조합, 조립, 성형으로부터, 그린 가공(생가공), 소성, 2차 가공, 검사·세정까지를 일관해 실시하고 있습니다. 본 제품과 같은 웨이퍼 반송용 핸드 외에, 웨이퍼 트레이나 흡착 척, 소성용 세터 등의 세라믹스 제품의 제작 실적이 다수 있습니다. 반도체·전자 부품용 세라믹 제품의 설계·제작이라면 아스작에 맡겨 주십시오.
