| 상품명 | 12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®）高温仕様 |
|---|---|
| 산업 |
반도체 로봇·장치 광학 장비 |
| 상품 유형 | 웨이퍼 반송 핸드(로봇 흡착 핸드) |
| 재료 | 고순도 알루미나 |
| 크기 | 12インチ用ハンド外形350×220 mm、厚み3 mm |
こちらは、12インチのウエハを吸着させるハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハを吸着するための3カ所の長穴形状の吸着穴（溝幅1mm）を加工しました。従来のPeriZacでは、外周3 mmのウエハ保持部は、テフロンテープ仕様でしたが、この製品は、アルミナ一体仕様です。アルミナ一体型製品のため、高温環境下での使用が可能です。吸引ポートは1カ所あり、Φ2の空洞部に通じる穴を加工しています。取付穴は6カ所あり、皿ザグリ加工を行っています。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
