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12인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(UniZac-air®)

12인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(UniZac-air®)|세라믹스 디자인 라보
12인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(UniZac-air®)|세라믹스 디자인 라보
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12인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(UniZac-air®)|세라믹스 디자인 라보
상품명 12인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(UniZac-air®)
산업 반도체
상품 유형 웨이퍼 반송 핸드(로봇 흡착 핸드)
재료 고순도 알루미나
크기 외형 330×104 mm, 두께 3.5 mm
이쪽은, 12 인치용의 흡착 타입의 반송 핸드입니다. 당사의 머시닝 센터를 사용하여, 웨이퍼 유지부면 거칠기를 Ra0.8로 완성했습니다. 공동부로 이어지는 자구리의 흡착구멍은 3곳으로 Φ4 깊이 1.4가 됩니다. 또, 흡인 포트에 대해서는, Φ5의 공동부에 통하는 자구리 구멍을 1개소 실시했습니다. 「세라믹스디자인랩」을 운영하는 아스작 주식회사에서는, 알루미나 원료의 조합, 조립, 성형으로부터, 그린 가공(생가공), 소성, 2차 가공, 검사·세정까지를 일관해 실시하고 있습니다. 본 제품과 같은 웨이퍼 반송용 핸드 외에, 웨이퍼 트레이나 흡착 척, 소성용 세터 등의 세라믹스 제품의 제작 실적이 다수 있습니다. 반도체·전자 부품용 세라믹 제품의 설계·제작이라면 아스작에 맡겨 주십시오.

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