상품명 | ボンディング装置用 4インチ用ピンチャック |
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산업 |
반도체 ボンディング工程 |
상품 유형 | ピンチャック |
재료 | SiC(탄화규소) |
크기 | 外径Φ110、総厚15 mm |
표면 거칠기 | Ra0.2 |
こちらは、ボンディング装置用 4インチ用ピンチャックです。当社の加工技術により、Φ100の範囲に、ピッチ5 mmでピン径Φ0.5、ピン高さ0.1 mm、表面粗さRa0.2の加工を施しました。外周部のリブ幅は0.3 mmで、ピンの周囲はR0.005のラウンド加工を施しました。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、SiC原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなボンディング装置用のピンチャックのほか、搬送ハンドやウエハートレイ、多孔質吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。ボンディング工程向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。