기기 제조업체를 비롯한 다양한 산업 고객에게
제공해 온 세라믹 파트를 소개합니다.
6インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)
산업: 반도체,로봇·장치
재질: 고순도 알루미나
精密セラミックボール(炭化ケイ素SiC3N)
산업: 반도체,산업 기계,기타
재질: 고순도 SiC
高耐熱性4~8インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド(UniZac-air®)
산업: 반도체,로봇·장치,アニール工程,エピタキシャル工程,CVD工程,洗浄工程
재질: 고순도 SiC
UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)
산업: 반도체,로봇·장치,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程
재질: 고순도 알루미나
ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)
산업: 반도체,로봇·장치,광학 장비
재질: 고순도 알루미나
反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)
산업: 반도체,로봇·장치,산업 기계
재질: 고순도 알루미나
12インチウエハ搬送用 トレイ式軽量化ハンド(UniZac-Obon®)
산업: 반도체,로봇·장치,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程
재질: 고순도 알루미나
Φ200×t 0.5 SiCダミーウエハ(反り量0.5 mm)【常圧焼結品/多結晶体】
산업: 반도체,로봇·장치,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程
재질: 고순도 SiC
500角吸着用 大型多孔質チャック(多孔質AZP60、本体アルミ)
산업: 반도체,광학 장비,화학·소재,영화,기타
재질: 다공성 세라믹(포러스 세라믹)
4~8インチ反りウエハ対応ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)
산업: 반도체,로봇·장치
재질: 고순도 알루미나
Φ330アルミナ空洞一体プレート
산업: 반도체,세라믹 소성 지그,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程
재질: 고순도 알루미나
グラインダー装置用セラミックガイドベース
산업: バックグラインド工程
재질: 고순도 알루미나