| 製品名称 | UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用） |
|---|---|
| 分類 | 両面吸着ハンド |
| 用途 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| 特徴 |
・空路が2段の空洞一体型ハンド ・両面吸着可能 ・接着剤不使用 |
| サイズ |
外形330×104 mm、厚み3.5 mm |
この製品の特徴
UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）は、空路が2段の空洞一体型ハンドです。2段の空洞は独立しているため、表面と裏面で吸着が可能です。接着剤は使用していないため、高温環境下での使用ができます。ウエハの処理前後で、異なるウエハを吸着したい場合、1本のハンドで対応可能です。歩留まり改善や生産性向上が期待できます。
「UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）」の
特徴
特徴
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・空路が2段の空洞一体型ハンド
・両面吸着可能
・接着剤不使用
「UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）」の
形状
形状
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左図は、UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）の空路のイメージ図と切断写真です。2段の空路が独立しています。
※画像をクリックすると、拡大できます。 -
図1は、UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）の外形図です。表面と裏面は同形状です。3ヶ所の吸着穴でウエハを吸着する形状です。
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左図は、UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）のA-A断面図です。真ん中の吸着部は、Φ16の0.3mm凸になり、Φ4の空洞部に通じる穴が両面に開いています。根本の吸引ポートは、Φ5で、両面に開いています。
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左図は、UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）のB-B
断面図です。先端部の吸着部は、0.3 mmの段が施され、Φ4の空洞部に通じる穴が両面に開いています。
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「UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）」の
事例・実績
事例・実績
「UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）」に
関するよくある質問
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可能です。接着剤を使用していないため、高温環境下で使用できます。
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できます。表面と裏面の空路が独立しているため、両面同時に吸着ができます。
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できます。吸着ハンドのため、ウエハを吸着したまま、反転ができます。
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デモ機の貸し出しは可能です。貸し出し期間は、約2週間です。詳しくはお問い合わせください。詳細はこちら→
