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技術動画・ウェビナー

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セラミックス材料開発およびセラミックス製品の
設計・製造のプロフェッショナルが動画で解説！

  • トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）12インチの搬送動画

    12インチ トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）のウエハ搬送動画です。ウエハ底面の外周と側面の一部でウエハを保持し、搬送しています。金属のハンドに比べて、たわみが少ないことが特徴です。大気と真空の両方の環境で使用が可能です。

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  • 吸着ハンド（UniZac-air®）12インチの搬送動画

    12インチ 吸着ハンド（UniZac-air®）のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。

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  • ベルヌーイハンド（LeviZac）8インチの水中でのウエハ保持

    8インチベルヌーイハンド（LeviZac）の水中でのウエハ保持動画です。4箇所の噴き出し穴から水を噴き出すことでウエハを保持しています。ウエハは、外周3 mm程度の4箇所のガイドで保持しています。水中での使用が可能です。

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  • ベルヌーイハンド（LeviZac）12インチの搬送動画

    12インチ ベルヌーイハンド（LeviZac）のウエハ搬送動画です。 4箇所の噴き出し穴からエアーを噴き出すことでウエハを保持しています。 ウエハは、外周3 mm程度の4箇所のガイドで保持しています。 ベルヌーイハンド（LeviZac）を回転させてもウエハの保持ができます。 上からウエハを吸い付けながら搬送することができます。

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  • SiC 炭化ケイ素 多孔質チャックの吸着テスト

    SiC 炭化ケイ素（AZPS40）多孔質チャックの吸着動画です。AZPS40は、薄いフィルムの吸着に優れています。さらに、熱衝撃・耐薬品性に優れています。静電気除去程度の導電性があります。部分吸着が可能です。

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  • 多孔質セラミックス　非接触浮上ステージ

    Φ300のダミーウエハ(100g)を多孔質チャックにより浮上させている動画です。多孔質セラミックス全面からエアを吹き出すことにより、搬送品を非接触で浮上させることができます。接触によるキズがつきにくくなります。

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  • 大型多孔質チャックを使った吸着力テスト

    大型多孔質チャックの吸着動画です。吸着面積が広いため、多くのワークを吸着できます。多孔質セミラックスAZP60は、部分吸着が可能です。薄いフィルムの吸着に適しています。

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  • 高温、強酸、強アルカリ雰囲気向け 多孔質セラミックスバブラー

    多孔質セラミックスのバブラー動画です。主に、水中で利用が可能です。ミクロンサイズの気孔により微細な気泡を発生します。 ※気泡サイズは、ガス・液体等の状態や雰囲気により異なります。

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  • 多孔質セラミックス バブラー

    多孔質セラミックスAZPS40のバブラー動画です。主に、水中で利用が可能です。ミクロンサイズの気孔により微細な気泡を発生します。 ※気泡サイズは、ガス・液体等の状態や雰囲気により異なります。

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  • 多孔質セラミックス 多方向フィルム吸着ピンセット

    フィルム状ワークの吸着ピンセットの動画です。多孔質セラミックスで吸着することで、薄いフィルムにシワや吸着痕がつきにくいです。

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  • セラミックスデザインラボ独自開発 薄型多孔質チャックの吸着テスト

    外径Φ32、厚み2mmの薄型多孔質チャックの吸着動画です。薄いフィルムを吸着させることができます。部分吸着が可能です。

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  • 吸着力がアップした新開発コレット

    吸着径Φ2の多孔質セラミックスコレットの動画です。重いワークを吸着できます。

    （基板サイズ □10 mm、280mg）
    実際の環境でテストが可能です。ぜひお気軽にお問い合わせください。

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  • 両面吸着多孔質チャックの吸着テスト動画

    両面吸着多孔質チャックの吸着テスト動画です。名刺やカプトンフィルムを多孔質の両面で同時に吸着可能です。多孔質は、AZP60とAZPS40でなので、部分吸着が可能です。両面吸着ができるので、マシニングのワークセットの際の固定用治具として利用が可能です。段取り替えが不要のため、工数削減やコストダウンにつながります。

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