VA・VE提案事例

「プラズマ耐性向上」 一覧

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  • 表面抵抗値制御
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  • ワークの傷防止
  • アウトガス抑制
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  • ウエハ搬送ハンド
  • 焼成用セッター
  • 多孔質チャック
  • アルミナカバー
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  • その他

• 特注製作事例

  • 6インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
  • 精密セラミックボール（炭化ケイ素SiC3N）
  • 高耐熱性4～8インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド（UniZac-air®）
  • UniZac-air® (ユニザックエア)　センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）

• 商品・サービス

  • オリジナル製品
  • セラミックスパーツ試作加工サービス
  • 半導体向け搬送ハンド・アーム
  • 多孔質チャック

• 最新技術コラム

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    試作品UniZac-Obon®の軽量化品のご紹介

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    反りウエハ対応の空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air®」の技術コラム

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    厚さ1.2 mmの空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air®」の技術コラム

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