搬送ハンド・多孔質チャックなどのファインセラミックス製品なら
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アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減
製品種類: アルミナカバー
提案効果: 工数削減,コストダウン,生産性向上
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