製品名称 | UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド |
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分類 | トレイ式標準ハンド |
用途 | ウエハ搬送(大気用・真空用) |
材質 |
高純度アルミナ 炭化ケイ素 コルシード |
特徴 |
高耐熱性 高強度 薄型化 |
サイズ |
12インチ:外形354×200 mm、厚み4 mm 8インチ:外形285×140 mm、厚み3 mm |
この製品の特徴
「UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド」の
特徴
特徴
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・高耐熱性
・薄型化
・軽量化
・たわみが少ない
・耐久性が向上
「UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド」の
形状
形状
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図1は、12インチのUniZac-Obon® の外観形状です。取付穴は、ご希望の位置やサイズで製作可能です。
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図2は、8インチのUniZac-Obon® の外観形状です。取付穴は、ご希望の位置やサイズで製作可能です。
「UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド」の
事例・実績
事例・実績
「UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド」の
図面ダウンロード
図面ダウンロード
UniZac-Obon 12インチ
(ユニザックオボン12インチ)
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現
UniZac-Obon 8インチ
(ユニザックオボン8インチ)
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現
「UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド」の
動画
動画
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トレイ式標準ハンド(UniZac-Obon®)12インチの搬送動画
12インチ トレイ式標準ハンド(UniZac-Obon®)のウエハ搬送動画です。ハンドは、ウエハ底面の外周と側面の一部でウエハを保持する形状です。金属のハンドに比べて、たわみが少なく、軽量です。大気と真空の両方の環境で使用ができます。
「UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド」に
関するよくある質問
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兼用ハンドの製作はできます。8インチ・6インチ用、6インチ・4インチ用の兼用ハンドの製作も可能です。
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製作は可能です。2~12インチサイズのUniZac-Obon®の製作が可能です。
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反転搬送ができません。UniZac-Obon® は、トレイ式のため、水平搬送に適しています。反転搬送ができるハンドは、UniZac-air®、PeriZac®、LeviZac®になります。
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できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。
金属のハンドに比べて、たわみが少ないことが特徴です。アルミナ、炭化ケイ素、コルシードの素材で製作が可能です。薄型化に対応でき、軽量化を実現しました。空洞一体品に比べて、製作期間は短いです。