UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）

製品名称	UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）
分類	吸着ハンド
用途	ウエハ搬送用(大気用)
材質	高純度アルミナ
特徴	・空洞一体型ハンド・カセット内でのウエハの接触防止・4～8インチのウエハに対応可能
サイズ	外形158×74 mm、厚み1.2 mm

この製品の特徴

UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）は、空洞一体型の厚み1.2 mmのハンドです。反りやたわみのあるウエハを搬送する際、カセット内でウエハが接触してしまうことはありませんか。こちらの厚さ1.2 mmハンドは、カセット内でのウエハの接触を低減します。狭いカセットピッチへ反りやたわみのあるウエハを搬送できます。1.2 mmの薄型ハンドを使用することで、歩留まり改善や生産性向上が期待できます。

「UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）」の
特徴

・空洞一体型
・厚み1.2 mm
・高耐熱性

「UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）」の
形状

図1は、UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）の外形図と側面図です。
段差がなく、フラットな形状です。先端2箇所の長穴でウエハを吸着します。
※画像をクリックすると、拡大できます。

「UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）」の
事例・実績

2024.02.14
4～8インチウエハ吸着用薄型1.2 mmロボット搬送ハンド（UniZac-air®）

業界：半導体ロボット・装置

材質：高純度アルミナ

詳細はこちら

「UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）」に
関するよくある質問

反りがあるウエハをカセットへ搬送した場合のクリアランスが知りたいです。

技術コラムのページに、厚み0.5 mm、反り1 mm6インチSiCウエハーを搬送した場合のクリアランス量をご紹介しています。詳しくは技術コラムをご覧ください。詳細はこちら→
UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）は、高温での使用が可能ですか。

可能です。
UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）は、ワークの上面側からの吸着や反転動作が可能ですか。

可能です。ハンドの吸着面を下向きにし、ワークの上面を吸着して、水平姿勢で搬送ができます。また、反転動作が可能です。
UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）のデモ機を借りたいです。

デモ機の貸し出しは可能です。貸し出し期間は、約2週間です。詳しくはお問い合わせください。詳細はこちら→
現在使用しているハンドを1.2 ｍｍに設計してほしいです。

設計は可能でございますが、現状製作可能サイズは、160×70×1.2 [mm]までとなります。さらに大きなサイズは開発中となります。貴社ハンドに適用要望がある場合、弊社にて設計対応いたしますのでお気軽にご相談ください。詳細はこちら→