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UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)

UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
製品名称 UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)
分類 センサー溝付き搬送ハンド
用途 ウエハ搬送用(大気用)
材質 高純度アルミナ
特徴 ・空洞内部にセンサー溝がある
・表面が吸着面、裏面にセンサー溝の   
 挿入口がある
・接着剤不使用の完全一体型のため
 耐熱性がある
・貼り合わせ部品が剥がれる恐れがない
サイズ 外形330×112 mm、厚み3.5 mm

この製品の特徴

UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)は、1本の搬送ハンドの内部に、吸着の流路と、センサー溝の流路の2つの流路を兼ね備えた当社のオリジナルハンドです。表面は、吸着面で、3箇所の吸着穴で12インチウエハを吸着します。裏面は、センサーの挿入口があります。完全な空洞一体型のため、接着剤を使用せず、センサーを通すことができます。そのため、アウトガス対策に有効です。また、センサーをハンド内部に収納できるので、コンパクト化が可能です。貼り合わせ仕様の場合に比べて、ウエスふき取り時のパーティクル発生が抑制できます。

「UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)」の
特徴

  • UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    左は、ウエハ吸着面の表面の写真です。
    ・空洞内部にセンサー溝がある
    ・表面は吸着面で、裏面にセンサー溝の挿入口がある
    ・接着剤不使用の完全一体型
  • UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    左は、センサーを通した裏面の写真です。
    ・裏面にセンサー溝の挿入口がある
    ・センサーをハンドの内部に収納できる
  • UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    左は、空洞一体型と貼り合わせの断面図です。
    貼り合わせ仕様は、貼り合わせ部品が剝がれる恐れがありますが、空洞一体型はその心配がありません。

「UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)」の
形状

  • UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    図1は、UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝空洞一体ハンド(12インチ用)の表面の外形図と断面図です。3ヶ所の吸着穴で12インチウエハを吸着する形状です。
    ※画像をクリックすると、拡大できます。
  • UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    図2は、UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝空洞一体ハンド(12インチ用)の裏面の外形図と断面図です。C部がセンサー出口で、D-D断面図がセンサー先端側となります。
    ※画像をクリックすると、拡大できます。

「UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)」に
関するよくある質問

  • できます。吸着ハンドのため、ウエハを吸着したまま、反転ができます。

  • デモ機はあります。貸し出し期間は、約2週間です。詳しくはお問い合わせください。


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  • ご使用されるセンサーの仕様によりますので、お気軽にご相談ください。


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  • ファイバーセンサーや位置検出センサー、傾き検出センサー、熱電対などです。センサーの形状によっては、対応できない場合がありますので、お気軽にご相談ください。


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