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UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)

UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)|セラミックスデザインラボ
製品名称 UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)
分類 吸着ハンド
用途 ウエハ搬送用(大気用)
材質 高純度アルミナ
特徴 ・空洞一体型ハンド
・カセット内でのウエハの接触防止
・4~8インチのウエハに対応可能
サイズ 外形158×74 mm、厚み1.2 mm

この製品の特徴

UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)は、空洞一体型の厚み1.2 mmのハンドです。反りやたわみのあるウエハを搬送する際、カセット内でウエハが接触してしまうことはありませんか。こちらの厚さ1.2 mmハンドは、カセット内でのウエハの接触を低減します。狭いカセットピッチへ反りやたわみのあるウエハを搬送できます。1.2 mmの薄型ハンドを使用することで、歩留まり改善や生産性向上が期待できます。

「UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)」の
特徴

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)|セラミックスデザインラボ
    ・空洞一体型
    ・厚み1.2 mm
    ・高耐熱性

「UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)」の
形状

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)|セラミックスデザインラボ
    図1は、UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)の外形図と側面図です。
    段差がなく、フラットな形状です。先端2箇所の長穴でウエハを吸着します。
    ※画像をクリックすると、拡大できます。

「UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド(4~8インチ用)」に
関するよくある質問

  • 技術コラムのページに、厚み0.5 mm、反り1 mm6インチSiCウエハーを搬送した場合のクリアランス量をご紹介しています。詳しくは技術コラムをご覧ください。詳細はこちら→

  • 可能です。

  • 可能です。ハンドの吸着面を下向きにし、ワークの上面を吸着して、水平姿勢で搬送ができます。また、反転動作が可能です。

  • デモ機の貸し出しは可能です。貸し出し期間は、約2週間です。詳しくはお問い合わせください。詳細はこちら→

  • 設計は可能でございますが、現状製作可能サイズは、160×70×1.2 [mm]までとなります。さらに大きなサイズは開発中となります。貴社ハンドに適用要望がある場合、弊社にて設計対応いたしますのでお気軽にご相談ください。詳細はこちら→

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