LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

「LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)」の
特徴

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  左の写真は、総厚2 mmのI型形状の搬送ハンドです。
  ・薄反りウエハの搬送が可能
  ・8箇所のガイドでウエハを保持
  ・反転動作が可能
  ・4～8インチのケガキ線付き
• 
  左の写真は、総厚2 mmのしゃもじ形状の搬送ハンドです。
  ・空洞内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜を施し、パーティクルの発生を抑制
  ・3箇所のガイドでウエハを保持
  ・反転動作が可能
  
• 
  左の写真は、総厚2 mmのY形状の搬送ハンドです。
  ・空洞内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜を施し、パーティクルの発生を抑制
  ・4箇所のガイドでウエハを保持
  ・反転動作が可能

「LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)」の
形状

• 
  図 1は、I型LeviZac®(薄型) の外観です。
  8 箇所の噴き出し穴とガイドがあります。
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  図 2は、I型LeviZac®(薄型) の断面図です。
  ハンド根本の吸引ポートに、圧縮空気を送ることで、ベルヌーイ効果により得た引力でウエハを保持します。

「LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)」の
事例・実績

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  2024.07.16

  ケガキ線付き4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）

  業界： 半導体ロボット・装置光学機器

  材質： 高純度アルミナ

  詳細はこちら
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  2023.10.17

  4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）

  業界： 半導体ロボット・装置光学機器

  材質： 高純度アルミナ

  詳細はこちら
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  2023.12.28

  4～6インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート

  業界： 半導体ロボット・装置

  材質： 高純度アルミナ

  詳細はこちら
• 
  2023.12.28

  4～5インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート

  業界： 半導体ロボット・装置

  材質： 高純度アルミナ

  詳細はこちら

「LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)」の
図面ダウンロード

I型LeviZac 4インチ

（アイガタレビザック4インチ）

• 反りウエハ
• 薄いウエハ
• 浮上式
• ベルヌーイ式
• 耐熱性
• 大気用
• 噴き出し穴
• ガイド
• 空洞一体

8個のガイドでウエハの保持が可能

薄型LeviZac 4インチ

（ウスガタレビザック4インチ）

• 反りウエハ
• 薄いウエハ
• 浮上式
• ベルヌーイ式
• 耐熱性
• 大気用
• 噴き出し穴
• ガイド
• 空洞一体

ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

薄型LeviZac 4インチ

（ウスガタレビザック4インチ）

• 反りウエハ
• 薄いウエハ
• 浮上式
• ベルヌーイ式
• 耐熱性
• 大気用
• 噴き出し穴
• ガイド
• 空洞一体

ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

薄型LeviZac 4インチ

（ウスガタレビザック4インチ）

• 反りウエハ
• 薄いウエハ
• 浮上式
• ベルヌーイ式
• 耐熱性
• 大気用
• 噴き出し穴
• ガイド
• 空洞一体

狭いカセット幅への搬送が可能