LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

製品名称	LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
分類	浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
用途	ウエハ搬送用(大気用)
材質	高純度アルミナ
特徴	薄型のため、狭いカセットピッチへの搬送が可能 4～8インチの薄反りウエハの搬送が可能 8箇所のガイドでウエハの保持が可能
サイズ	外形180×30 mm、厚み2 mm

この製品の特徴

LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)は、総厚2 mmの薄型ベルヌーイハンドです。ハンド本体の厚みは1.5 mm、ウエハ保持用のガイドの厚みは0.5 mmです。総厚が2 mmと薄いため、狭いカセットピッチへのウエハの搬送に対応できます。ハンド根本の吸引ポートに、圧縮空気を送ることで、ベルヌーイ効果により得た引力でウエハを保持します。8箇所のガイドでウエハを保持し、ウエハのズレや落下を防ぎます。耐久性に優れ、薄く反りのあるウエハの搬送に適しています。

「LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)」の
特徴

・総厚2 mmの搬送ハンド
・反りウエハの搬送が可能
・薄いウエハの搬送が可能
・反転動作が可能

「LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)」の
形状

図 1は、LeviZac®(薄型) の外観です。
8 箇所の噴き出し穴とガイドがあります。
図 2は、LeviZac®(薄型) の断面図です。
ハンド根本の吸引ポートに、圧縮空気を送ることで、ベルヌーイ効果により得た引力でウエハを保持します。

「LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)」の
事例・実績

2023.10.17
4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）

業界：半導体ロボット・装置光学機器

材質：高純度アルミナ

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「LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)」に
関するよくある質問

LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンドは、高温での使用が可能ですか。

ガイドの耐熱温度が100℃のため、それ以上の温度での使用は難しいです。
高温環境下での使用の場合は、ガイドの素材と本体をアルミナ一体型にした形状でご提案させていただきます。
詳細は、お問い合わせください。詳細はこちら→
LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンドは、ワークの上面を保持して、水平姿勢で搬送できますか。

ワークの上面を保持して、水平姿勢で搬送できます。LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンドは、8箇所のガイドでワークを保持します。ワークの上面を上から引き付け、保持し、搬送ができます。
LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンドのデモ機はありますか。

デモ機はあります。無料で貸し出しできます。貸し出し期間は、約２週間です。詳しくはお問い合わせください。詳細はこちら→
薄型のベルヌーイハンドを提案してほしいです。

当社のオリジナルハンドであるLeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)をご提案させていただきます。総厚2 mmの薄型ハンドであり、狭いキャリア内へウエハの出し入れが可能です。