UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド

製品名称	UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド
分類	吸着ハンド
用途	ウエハ搬送用(大気用)
材質	吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素
特徴	・薄ウエハに対して、平滑面で吸着可・吸着痕が付きづらい・薄く柔軟性のある反りウエハの吸着可
サイズ	12インチ：外形350×220×3.5 mm 8インチ：外形280×140×3.5 mm

この製品の特徴

UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドは、当社オリジナルの吸着式ハンドです。ウエハの吸着部は、多孔質セラミックスです。本体は、アルミナと炭化ケイ素の素材でご提案が可能です。ウエハを面で受けるため吸着痕が付きにくく、また部分吸着の出来る多孔質を採用することで薄く反りのあるウエハの吸着が可能です。

「UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド」の
特徴

・薄反りウエハの搬送が可能
・ウエハに吸着痕がつきにくい
・狭いカセットピッチにも対応可能

「UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド」の
形状

図1は、12インチのUniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドの外観形状です。3箇所の多孔質でウエハを吸着・保持します。
図2は、8インチのUniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドの外観形状です。3箇所の多孔質でウエハを吸着・保持します。
図3は、UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドのA-A断面図（図1、図2参照）です。本体に多孔質セラミックスを接着剤で接着する仕様です。

「UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド」の
事例・実績

「UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド」の
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UniZac-Pair 8インチ

（ユニザックペア8インチ）

薄反りウエハの保持が可能

UniZac-Pair 12インチ

（ユニザックペア12インチ）

薄反りウエハの保持が可能

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「UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド」に
関するよくある質問

吸着穴仕様のハンドでウエハを搬送していますが、吸着圧により、ウエハがへこみます。吸着時のウエハの変形を最小限に抑えたいです。

UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドでは、多孔質でウエハを吸着保持します。そのため、吸着時のウエハの変形を最小限にすることができます。
半導体ウエハの裏面を研磨あるいはエッチングする際に、ウエハ表面に保護テープを貼り付けています。搬送の際、テープに吸着痕が付き、困っています。

UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドをご提案させていただきます。
多孔質は、微細孔のため、吸着穴や樹脂パッドと比較して、テープに吸着痕が付きにくいです。
UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドは、接着剤を使用していますか。

接着剤を使用しています。本体と多孔質を接着する際に使用します。
12インチ、8インチ以外のウエハサイズに対応したUniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドは、製作が可能ですか。

製作は可能です。4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
詳細はお問い合わせください。
UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドは、反転搬送ができますか。

反転搬送ができます。3箇所の多孔質でウエハを吸着保持します。
装置のレイアウト上、クリアランスの影響により、ハンド幅や厚みに制限があります。装置のクリアランスに合わせて、ハンド設計を行うことは可能ですか。

設計は可能です。装置の形状に合わせて、設計提案させていただきます。詳細はお問い合わせください。