| 製品名称 | 多孔質埋め込みハンド |
|---|---|
| 分類 | 吸着ハンド |
| 用途 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材質 | 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素 |
| 特徴 |
薄反りウエハの搬送が可能 ウエハに吸着痕がつきにくい |
| サイズ |
12インチ：外形350×220 mm、厚み3.5 mm 8インチ：外形280×140 mm、厚み3.5 mm |
この製品の特徴
「多孔質埋め込みハンド」の
特徴
特徴
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・薄反りウエハの搬送が可能
・ウエハに吸着痕がつきにくい
・狭いカセットピッチにも対応可能
「多孔質埋め込みハンド」の
形状
形状
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図1は、12インチの多孔質埋め込みハンドの外観形状です。3箇所の多孔質でウエハを吸着・保持します。
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図2は、8インチの多孔質埋め込みハンドの外観形状です。3箇所の多孔質でウエハを吸着・保持します。
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図3は、多孔質埋め込みハンドのA-A断面図（図1、図2参照）です。本体に多孔質セラミックスを接着剤で接着する仕様です。
「多孔質埋め込みハンド」の
事例・実績
事例・実績
「多孔質埋め込みハンド」の
図面ダウンロード
図面ダウンロード
多孔質埋め込みハンド 8インチ
（多孔質埋め込みハンド8インチ）
薄反りウエハの保持が可能
多孔質埋め込みハンド 12インチ
（多孔質埋め込みハンド12インチ）
薄反りウエハの保持が可能
「多孔質埋め込みハンド」に
関するよくある質問
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多孔質埋め込みハンドでは、多孔質でウエハを吸着保持します。そのため、吸着時のウエハの変形を最小限にすることができます。
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多孔質埋め込みハンドをご提案させていただきます。
多孔質は、微細孔のため、吸着穴や樹脂パッドと比較して、テープに吸着痕が付きにくいです。 -
接着剤を使用しています。本体と多孔質を接着する際に使用します。
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製作は可能です。4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
詳細はお問い合わせください。 -
反転搬送ができます。3箇所の多孔質でウエハを吸着保持します。
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設計は可能です。装置の形状に合わせて、設計提案させていただきます。詳細はお問い合わせください。
