| 製品名称 | センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ |
|---|---|
| 分類 | 多孔質埋め込みハンド |
| 用途 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材質 | 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素 |
| 特徴 |
・センサー取り付けの溝付き ・薄反りウエハが吸着できる ・ウエハに吸着痕がつきにくい |
| サイズ | 外形215×125 mm、厚み3.5 mm |
この製品の特徴
センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチは、当社オリジナルの吸着式ハンドです。ウエハの吸着部は、多孔質セラミックスAZP60です。ハンド根本には、センサー溝が加工してあります。センサー溝にセンサーを取り付けて、ウエハの位置ズレや傾きを検出することができます。本体のアルミナに多孔質セラミックスAZP60を接着剤を使用して埋め込む仕様です。薄く、反りのあるウエハの吸着が可能です。ウエハに吸着痕が付きにくいことが特徴のハンドです。
「センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ」の
特徴
特徴
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・ハンドの根本に、センサー取り付け用の溝加工あり
・薄反りウエハの搬送が可能
・ウエハに吸着痕がつきにくい
「センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ」の
形状
形状
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図1は、センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチの形状図です。ハンドの根本中央に、幅12長さ80深さ1.7程度のセンサー溝が加工されています。 -
図2は、センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチのA-A断面図（図1参照）です。本体アルミナに多孔質セラミックスAZP60を接着剤で接着する仕様です。
「センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ」の
事例・実績
事例・実績
「センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ」に
関するよくある質問
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接着剤を使用しています。本体と多孔質を接着する際に使用します。接着剤の種類により、ご利用可能な温度範囲が異なります。詳しくはお問い合わせください。
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製作は可能です。4インチ、5インチ、6インチ、12インチのウエハに対応したものが製作可能です。詳しくはお問い合わせください。
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デモ機はあります。無料で貸し出しできます。貸し出し期間は、約２週間です。詳しくはお問い合わせください。
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可能です。お客様のご希望に応じて設計させていただきます。詳しくはお問い合わせください。
