VA・VE제안 사례

Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상

워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안

제품 종류： 소성용 세터

제안 효과： 접촉 피해 억제,기능성 향상,불량률 감소,수율 향상

웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상,내마모성

1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상

휴대용 웨이퍼 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 기능성 향상,휴대성

휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상,수율 향상

고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 기능성 향상,정전기 대책,표면 저항값 제어

웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상),기능성 향상

양면 흡착 다공질 척의 제안

제품 종류： 다공성 척

제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상),공수 절감,비용 절감,기능성 향상